干式螺桿真空泵詳細(xì)說明
比較好的極限壓力完全無油無水 ??干式螺桿真空泵使用了獨(dú)特的螺桿轉(zhuǎn)子型線,動力節(jié)省30%,排氣溫度低,工藝穩(wěn)定,此產(chǎn)品適用于各種領(lǐng)域的真空工藝,也維持了比較好的真空效率和耐用性。 ??不使用油和水,用可變壓縮方式操作,水蒸氣和液態(tài)混合工藝,非常適合干燥,溶劑回收,化工,制*,塑料等各種真空工藝。???????? ***及特征: ???吸入效率(提升15%)。 ???排氣效率改善(2級可變,連續(xù)可變頻率)。 ???極限壓力:1*10-2Torr(托)。 ???排氣溫度降低50%。 ???電力消耗減少30%。 ?? ?不使用油和水,不會造成油和水的污染。 ???低功耗、低噪音、低振動,動平衡好,沒有慣性力,可高速運(yùn)行。 ???設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡單,易保養(yǎng),維修費(fèi)用低,沒有易損件,壽命長。 ???適用范圍廣,具有高真空性能。 ???使用壽命長,氣體接觸部位都具有聚四氟乙烯、鎳和哈氏合金涂層。 ???不采用機(jī)械密封,密封部件無污染,不會因污染而頻繁發(fā)生故障。 ???前后采用稀有潤滑方式,提高軸承耐用性。 干式螺桿泵的應(yīng)用范圍: ??在半導(dǎo)體合成及液晶生產(chǎn)上的應(yīng)用,主要有半導(dǎo)體等離子增強(qiáng)氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝,液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0,以保護(hù)工件免受污染。 ??在石油化工中,主要是抽取可凝性氣體,或**氣體,或腐蝕性氣體,或含有微塵的氣體。 ??制*行業(yè),用于**的真空干燥,**中間體回收,回收氣體消毒劑,為人造***提供清潔無菌條件等。 ??化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收,例如萃取回收**,多元醇等工藝 ??工業(yè)排氣;集中式真空處理系統(tǒng) ??擠出機(jī)的混合工藝及板材的排氣工藝 ??混合樹脂脫腥工藝在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染,及噴射器中的阻塞物。 ??涉及無憂污水真空處理的所有應(yīng)用 ??食品行業(yè)用于香料,香精濃度,食品包裝等。